SiC vafeļu laiva
Silīcija karbīda vafeļu laivair nesoša ierīce plāksnēm, ko galvenokārt izmanto saules un pusvadītāju difūzijas procesos. Tam ir tādas īpašības kā nodilumizturība, izturība pret koroziju, augstas temperatūras triecienizturība, izturība pret plazmas bombardēšanu, augstas temperatūras nestspēja, augsta siltumvadītspēja, augsta siltuma izkliede un ilgstoša lietošana, ko nav viegli saliekt un deformēt. Mūsu uzņēmums izmanto augstas tīrības pakāpes silīcija karbīda materiālu, lai nodrošinātu kalpošanas laiku, un nodrošina pielāgotus dizainus, tostarp. dažādi vertikāli un horizontālivafeļu laiva.
SiC airis
Thesilīcija karbīda konsoles lāpstiņagalvenokārt tiek izmantots silīcija plātņu (difūzijas) pārklāšanai, kam ir izšķiroša nozīme silīcija vafeļu iekraušanā un transportēšanā augstā temperatūrā. Tā ir galvenā sastāvdaļapusvadītāju vafeleiekraušanas sistēmas, un tam ir šādas galvenās īpašības:
1. Tas nedeformējas augstas temperatūras vidē, un tam ir liels slodzes spēks uz vafelēm;
2. Tas ir izturīgs pret ārkārtēju aukstumu un strauju karstumu, un tam ir ilgs kalpošanas laiks;
3. Termiskās izplešanās koeficients ir mazs, ievērojami paplašinot apkopes un tīrīšanas ciklu un ievērojami samazina piesārņojošo vielu daudzumu.
SiC krāsns caurule
Silīcija karbīda procesa caurule, izgatavots no augstas tīrības pakāpes SiC bez metāliskiem piemaisījumiem, nepiesārņo vafeles un ir piemērots tādiem procesiem kā pusvadītāju un fotoelementu difūzija, atkvēlināšanas un oksidācijas process.
SiC robota rokturis
SiC robota roka, kas pazīstams arī kā vafeļu pārneses gala efektors, ir robotu roka, ko izmanto pusvadītāju plāksnīšu transportēšanai, un to plaši izmanto pusvadītāju, optoelektronikas un saules enerģijas nozarēs. Izmantojot augstas tīrības pakāpes silīcija karbīdu, ar augstu cietību, nodilumizturību, seismisko izturību, ilgstošu lietošanu bez deformācijas, ilgu kalpošanas laiku utt., Var nodrošināt pielāgotus pakalpojumus.
Grafīts kristālu audzēšanai
Grafīta siltuma vairogs
Grafīta elektrodu caurule
Grafīta deflektors
Grafīta patrona
Visi pusvadītāju kristālu audzēšanai izmantotie procesi darbojas augstas temperatūras un korozīvā vidē. Kristālu augšanas krāsns karstā zona parasti ir pārklāta ar karstumizturīgu un korozijizturīgu augstas tīrības pakāpi. grafīta sastāvdaļas, piemēram, grafīta sildītāji, tīģeļi, cilindri, deflektors, patronas, caurules, gredzeni, turētāji, uzgriežņi utt. Mūsu gatavais produkts var sasniegt pelnu saturu, kas mazāks par 5 ppm.
Grafīts pusvadītāju epitaksijai
Grafīta pamatne
Grafīta epitaksiālā muca
Monocry Stalline Silicon Epitaksial Base
MOCVD grafīta daļas
Pusvadītāju grafīta stiprinājums
Epitaksiālais process attiecas uz viena kristāla materiāla augšanu uz viena kristāla substrāta ar tādu pašu režģa izvietojumu kā substrātam. Tam ir nepieciešamas daudzas īpaši augstas tīrības pakāpes grafīta daļas un grafīta pamatne ar SIC pārklājumu. Augstas tīrības pakāpes grafītam, ko izmanto pusvadītāju epitaksijai, ir plašs pielietojumu klāsts, kas var atbilst visbiežāk izmantotajām iekārtām nozarē, tajā pašā laikā tam ir ārkārtīgi augsts. tīrība, vienmērīgs pārklājums, lielisks kalpošanas laiks un ārkārtīgi augsta ķīmiskā izturība un termiskā stabilitāte.
Izolācijas materiāli un citi
Pusvadītāju ražošanā izmantotie siltumizolācijas materiāli ir grafīta cietais filcs, mīkstais filcs, grafīta folija, oglekļa kompozītmateriāli utt. Mūsu izejmateriāli ir importētie grafīta materiāli, kurus var sagriezt pēc klientu specifikācijas, kā arī pārdot kā vesels. Oglekļa kompozītmateriālu parasti izmanto kā nesēju saules monokristālu un polisilīcija šūnu ražošanas procesā.