SOI vafeles

Īss apraksts:

SOI vafele ir sviestmaizēm līdzīga struktūra ar trīs slāņiem;Tostarp augšējais slānis (ierīces slānis), apraktā skābekļa slāņa vidus (izolējošajam SiO2 slānim) un apakšējais substrāts (masas silīcijs).SOI vafeles tiek ražotas, izmantojot SIMOX metodi un vafeļu savienošanas tehnoloģiju, kas ļauj iegūt plānākus un precīzākus ierīces slāņus, vienmērīgu biezumu un zemu defektu blīvumu.

Nosūtiet mums e-pastu

Produkta informācija

Produktu etiķetes

SOI vafeles (1)

Pieteikuma lauks

1. Ātrgaitas integrālā shēma

2. Mikroviļņu iekārtas

3. Augstas temperatūras integrālā shēma

4. Strāvas ierīces

5. Mazjaudas integrālā shēma

6. MEMS

7. Zemsprieguma integrālā shēma

Lieta		Arguments
Kopumā	Vafeļu diametrs 晶圆尺寸 (mm)	50/75/100/125/150/200mm±25mm
	Bow/Warp 翘曲度(	<10 um
	Daļiņas 颗粒度(	0.3um<30ea
	Dzīvokļi/iecirtums 定位边/定位槽	Plakans vai iecirtums
	Malu izslēgšana 边缘去除 (mm)	/
Ierīces slānis 器件层	Ierīces slāņa tips/piedeva 器件层掺杂类型	N-tips/P-tips B/ P/ Sb/As
	Orientācija uz ierīces slāni 器件层晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	Ierīces slāņa biezums 器件层厚度(um)	0,1 ~ 300 um
	Ierīces slāņa pretestība 器件层电阻率 (ohm•cm)	0,001 ~ 100 000 omi-cm
	Ierīces slāņa daļiņas 器件层颗粒度(	<30ea@0.3
	Ierīces slāņa TTV 器件层TTV(	<10 um
	Ierīces slāņa apdare 器件层表面处理	Pulēts
BOX	Apglabāts termiskā oksīda biezums 埋氧层厚度(um)	50nm (500Å) ~ 15um
Roktura slānis 衬底	Roktura vafeļu veids/piedeva 衬底层类型	N-tips/P-tips B/ P/ Sb/As
	Roktura vafeles orientācija 衬底晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	Roktura vafeļu pretestība 衬底电阻率 (ohm•cm)	0,001 ~ 100 000 omi-cm
	Roktura vafeles biezums 衬底厚度 (um)	>100um
	Rokturis vafeļu apdare 衬底表面处理	Pulēts
Mērķa specifikāciju SOI vafeles var pielāgot atbilstoši klientu prasībām.