Vafeļu apstrādes rokair galvenais aprīkojums, ko izmanto pusvadītāju ražošanas procesā, lai apstrādātu, pārvietotu un novietotuvafeles. Tas parasti sastāv no robotizētas rokas, satvērēja un vadības sistēmas ar precīzas kustības un pozicionēšanas iespējām.Vafeļu apstrādes rokastiek plaši izmantoti dažādās pusvadītāju ražošanas saitēs, tostarp procesa posmos, piemēram, vafeļu ielāde, tīrīšana, plānslāņa nogulsnēšana, kodināšana, litogrāfija un pārbaude. Tās precizitāte, uzticamība un automatizācijas iespējas ir būtiskas, lai nodrošinātu ražošanas procesa kvalitāti, efektivitāti un konsekvenci.
Vafeļu apstrādes rokas galvenās funkcijas ietver:
1. Vafeļu pārnešana: vafeļu apstrādes rokturis spēj precīzi pārsūtīt vafeles no vienas vietas uz citu, piemēram, izņemt vafeles no uzglabāšanas plaukta un ievietot apstrādes ierīcē.
2. Pozicionēšana un orientācija: vafeļu apstrādes svira spēj precīzi novietot un orientēt vafeles, lai nodrošinātu pareizu izlīdzināšanu un novietojumu turpmākajām apstrādes vai mērīšanas darbībām.
3. Saspīlēšana un atbrīvošana: vafeļu apstrādes sviras parasti ir aprīkotas ar satvērējiem, kas var droši saspiest vafeles un vajadzības gadījumā tās atbrīvot, lai nodrošinātu drošu vafeļu pārvietošanu un apstrādi.
4. Automatizēta vadība: vafeļu apstrādes roka ir aprīkota ar uzlabotu vadības sistēmu, kas var automātiski izpildīt iepriekš noteiktas darbību secības, uzlabot ražošanas efektivitāti un samazināt cilvēku kļūdas.
Raksturojums un priekšrocības
1. Precīzi izmēri un termiskā stabilitāte.
2.Augsta īpatnējā stingrība un lieliska termiskā vienmērība, ilgstošai lietošanai nav viegli saliekt deformāciju.
3. Tam ir gluda virsma un laba nodilumizturība, tādējādi droši apstrādājot mikroshēmu bez daļiņu piesārņojuma.
4.Silīcija karbīda pretestība 106-108Ω, nemagnētiska, saskaņā ar anti-ESD specifikācijas prasībām; Tas var novērst statiskās elektrības uzkrāšanos uz mikroshēmas virsmas.
5.Laba siltumvadītspēja, zems izplešanās koeficients.
