Semicera nodrošina specializētus tantala karbīda (TaC) pārklājumus dažādām sastāvdaļām un nesējiem.Semicera vadošais pārklājuma process ļauj tantala karbīda (TaC) pārklājumiem sasniegt augstu tīrību, augstas temperatūras stabilitāti un augstu ķīmisko toleranci, uzlabojot SIC/GAN kristālu un EPI slāņu produktu kvalitāti (TaC susceptors ar grafīta pārklājumu) un pagarinot galveno reaktora sastāvdaļu kalpošanas laiku. Tantala karbīda TaC pārklājuma izmantošana ir paredzēta, lai atrisinātu malu problēmu un uzlabotu kristālu augšanas kvalitāti, un Semicera ir atklājusi tantala karbīda pārklājuma tehnoloģiju (CVD), sasniedzot starptautisku progresīvu līmeni.
Tantala karbīda nodilumizturīgi pārklājuma gredzeni tiek plaši izmantoti dažādos augstas berzes un augsta nodiluma scenārijos, piemēram, mehāniskās blīvēs, sūkņu sistēmās, vārstos, gultņos un griezējinstrumentos. Tie nodrošina drošu aizsardzību pret nodilumu, samazina komponentu nodilumu un bojājumus, kā arī uzlabo aprīkojuma uzticamību un kalpošanas laiku.
Tantala karbīda nodilumizturīgo pārklājuma gredzenu īpašības ir šādas:
1. Nodilumizturība: Tantala karbīda pārklājumam ir ārkārtīgi augsta cietība un nodilumizturība, tas var efektīvi izturēt berzi un nodilumu, kā arī pagarināt pārklājuma gredzena kalpošanas laiku.
2. Zems berzes koeficients: tantala karbīda pārklājumam ir zems berzes koeficients, kas samazina berzes zudumus un enerģijas patēriņu starp pārklājumu un citiem materiāliem.
3. Izturība pret koroziju: Tantala karbīda pārklājums var izturēt dažādu ķīmisko vielu un šķīdinātāju eroziju, tam ir lieliska izturība pret koroziju, un tas ir piemērots lietošanai korozīvā vidē.
4. Augstas temperatūras stabilitāte: Tantala karbīda pārklājums var uzturēt strukturālu stabilitāti un labu nodilumizturību augstas temperatūras vidē, un tas ir piemērots augstas temperatūras procesiem un lietojumiem.
ar un bez TaC
Pēc TaC lietošanas (pa labi)
Turklāt SemiceraProdukti ar TaC pārklājumuuzrāda ilgāku kalpošanas laiku un lielāku izturību pret augstu temperatūru, salīdzinot arSiC pārklājumi.Laboratorijas mērījumi ir parādījuši, ka mūsuTaC pārklājumivar pastāvīgi darboties temperatūrā līdz 2300 grādiem pēc Celsija ilgāku laiku. Tālāk ir sniegti daži mūsu paraugu piemēri:
