Susceptora atbalsta plāksne ar tantala karbīda pārklājumuir susceptors vai atbalsta struktūra, kas ir pārklāta ar plānu slānitantala karbīds. Šo pārklājumu uz susceptora virsmas var veidot ar tādām metodēm kā fizikālā tvaiku pārklāšana (PVD) vai ķīmiskā tvaiku pārklāšana (CVD), kas piešķir susceptoram izcilas īpašības.tantala karbīds.
Semicera nodrošina specializētus tantala karbīda (TaC) pārklājumus dažādām sastāvdaļām un nesējiem.Semicera vadošais pārklājuma process ļauj tantala karbīda (TaC) pārklājumiem sasniegt augstu tīrību, augstas temperatūras stabilitāti un augstu ķīmisko toleranci, uzlabojot SIC/GAN kristālu un EPI slāņu produktu kvalitāti (TaC susceptors ar grafīta pārklājumu) un pagarinot galveno reaktora sastāvdaļu kalpošanas laiku. Tantala karbīda TaC pārklājuma izmantošana ir paredzēta, lai atrisinātu malu problēmu un uzlabotu kristālu augšanas kvalitāti, un Semicera ir atklājusi tantala karbīda pārklājuma tehnoloģiju (CVD), sasniedzot starptautisku progresīvu līmeni.
Pēc gadiem ilgas attīstības Semicera ir iekarojis tehnoloģijuCVD TaCar kopīgiem pētniecības un attīstības nodaļas pūliņiem. SiC vafeļu augšanas procesā ir viegli rasties defekti, bet pēc lietošanasTaC, atšķirība ir būtiska. Zemāk ir salīdzinājums vafeļiem ar un bez TaC, kā arī Simicera detaļām monokristālu audzēšanai.
Tantala karbīda pārklājuma pamatnes atbalsta plākšņu galvenās iezīmes ir:
1. Augstas temperatūras stabilitāte: Tantala karbīdam ir lieliska augstas temperatūras stabilitāte, padarot pārklājuma pamatnes atbalsta plāksni piemērotu atbalsta vajadzībām augstas temperatūras darba vidē.
2. Izturība pret koroziju: Tantala karbīda pārklājumam ir laba izturība pret koroziju, tas var izturēt ķīmisko koroziju un oksidāciju, kā arī pagarināt pamatnes kalpošanas laiku.
3. Augsta cietība un nodilumizturība: tantala karbīda pārklājuma augstā cietība nodrošina pamatnes atbalsta plāksni labu nodilumizturību, kas ir piemērota gadījumiem, kad nepieciešama augsta nodilumizturība.
4. Ķīmiskā stabilitāte: Tantala karbīdam ir augsta stabilitāte pret dažādām ķīmiskām vielām, tādēļ pārklājuma pamatnes atbalsta plāksne labi darbojas dažās korozīvās vidēs.
ar un bez TaC
Pēc TaC lietošanas (pa labi)
Turklāt SemiceraProdukti ar TaC pārklājumuuzrāda ilgāku kalpošanas laiku un lielāku izturību pret augstu temperatūru, salīdzinot arSiC pārklājumi.Laboratorijas mērījumi ir parādījuši, ka mūsuTaC pārklājumivar pastāvīgi darboties temperatūrā līdz 2300 grādiem pēc Celsija ilgāku laiku. Tālāk ir sniegti daži mūsu paraugu piemēri:
