Ar tantala karbīdu pārklāta grafīta loksneir grafīta materiāls ar plānu slānitantala karbīdsuz pamatnes virsmas. Plānais tantala karbīda slānis parasti veidojas uz grafīta substrāta virsmas, izmantojot tādas metodes kā fizikālā tvaiku pārklāšana (PVD) vai ķīmiskā tvaiku pārklāšana (CVD). Šim pārklājumam ir lieliskas īpašības, piemēram, augsta cietība, lieliska nodilumizturība, izturība pret koroziju un augstas temperatūras stabilitāte.
Semicera nodrošina specializētus tantala karbīda (TaC) pārklājumus dažādām sastāvdaļām un nesējiem.Semicera vadošais pārklājuma process ļauj tantala karbīda (TaC) pārklājumiem sasniegt augstu tīrību, augstas temperatūras stabilitāti un augstu ķīmisko toleranci, uzlabojot SIC/GAN kristālu un EPI slāņu produktu kvalitāti (TaC susceptors ar grafīta pārklājumu) un pagarinot galveno reaktora sastāvdaļu kalpošanas laiku. Tantala karbīda TaC pārklājuma izmantošana ir paredzēta, lai atrisinātu malu problēmu un uzlabotu kristālu augšanas kvalitāti, un Semicera ir atklājusi tantala karbīda pārklājuma tehnoloģiju (CVD), sasniedzot starptautisku progresīvu līmeni.
Pēc gadiem ilgas attīstības Semicera ir iekarojis tehnoloģijuCVD TaCar kopīgiem pētniecības un attīstības nodaļas pūliņiem. SiC vafeļu augšanas procesā ir viegli rasties defekti, bet pēc lietošanasTaC, atšķirība ir būtiska. Zemāk ir salīdzinājums vafeļiem ar un bez TaC, kā arī Simicera detaļām monokristālu audzēšanai.
Galvenās tantala karbīda pārklājuma grafīta loksnes priekšrocības ir:
1. Augstas temperatūras izturība: Tantala karbīdam ir augsts kušanas punkts un lieliska augstas temperatūras stabilitāte, padarot pārklāto grafīta loksni piemērotu lietošanai augstas temperatūras vidē.
2. Izturība pret koroziju: Tantala karbīda pārklājums var izturēt daudzu ķīmiski kodīgu vielu eroziju un pagarināt materiāla kalpošanas laiku.
3. Augsta cietība: Tantala karbīda plānā slāņa augstā cietība nodrošina labu nodilumizturību un ir piemērota lietojumiem, kuriem nepieciešama augsta nodilumizturība.
4. Ķīmiskā stabilitāte: Tantala karbīda pārklājumam ir lieliska stabilitāte pret ķīmisko koroziju, un tas ir piemērots lietošanai dažās kodīgās vidēs.
ar un bez TaC
Pēc TaC lietošanas (pa labi)
Turklāt SemiceraProdukti ar TaC pārklājumuuzrāda ilgāku kalpošanas laiku un lielāku izturību pret augstu temperatūru, salīdzinot arSiC pārklājumi.Laboratorijas mērījumi ir parādījuši, ka mūsuTaC pārklājumivar pastāvīgi darboties temperatūrā līdz 2300 grādiem pēc Celsija ilgāku laiku. Tālāk ir sniegti daži mūsu paraugu piemēri:
