Semicera nodrošina specializētus tantala karbīda (TaC) pārklājumus dažādām sastāvdaļām un nesējiem.Semicera vadošais pārklājuma process ļauj tantala karbīda (TaC) pārklājumiem sasniegt augstu tīrību, augstas temperatūras stabilitāti un augstu ķīmisko toleranci, uzlabojot SIC/GAN kristālu un EPI slāņu produktu kvalitāti (TaC susceptors ar grafīta pārklājumu) un pagarinot galveno reaktora sastāvdaļu kalpošanas laiku. Tantala karbīda TaC pārklājuma izmantošana ir paredzēta, lai atrisinātu malu problēmu un uzlabotu kristālu augšanas kvalitāti, un Semicera ir atklājusi tantala karbīda pārklājuma tehnoloģiju (CVD), sasniedzot starptautisku progresīvu līmeni.
Tantala karbīda pārklājumu vafeļu nesēji tiek plaši izmantoti vafeļu apstrādes un apstrādes procesos pusvadītāju ražošanas procesos. Tie nodrošina stabilu atbalstu un aizsardzību, lai nodrošinātu vafeļu drošību, precizitāti un konsistenci ražošanas procesā. Tantala karbīda pārklājumi var pagarināt nesēja kalpošanas laiku, samazināt izmaksas un uzlabot pusvadītāju izstrādājumu kvalitāti un uzticamību.
Tantala karbīda pārklājuma vafeļu nesēja apraksts ir šāds:
1. Materiālu izvēle: Tantala karbīds ir materiāls ar izcilu veiktspēju, augstu cietību, augstu kušanas temperatūru, izturību pret koroziju un izcilām mehāniskām īpašībām, tāpēc to plaši izmanto pusvadītāju ražošanas procesā.
2. Virsmas pārklājums: Tantala karbīda pārklājums tiek uzklāts uz vafeļu nesēja virsmas, izmantojot īpašu pārklāšanas procesu, lai izveidotu vienmērīgu un blīvu tantala karbīda pārklājumu. Šis pārklājums var nodrošināt papildu aizsardzību un nodilumizturību, vienlaikus nodrošinot labu siltumvadītspēju.
3. Plakanums un precizitāte: ar tantala karbīda pārklājumu vafeļu nesējam ir augsta plakanuma un precizitātes pakāpe, nodrošinot vafeļu stabilitāti un precizitāti ražošanas procesā. Turētāja virsmas līdzenums un apdare ir ļoti svarīga, lai nodrošinātu vafeles kvalitāti un veiktspēju.
4. Temperatūras stabilitāte: ar tantala karbīda pārklājumu vafeļu nesēji var saglabāt stabilitāti augstas temperatūras vidē bez deformācijas vai atslābšanas, nodrošinot vafeļu stabilitāti un konsistenci augstas temperatūras procesos.
5. Izturība pret koroziju: Tantala karbīda pārklājumiem ir lieliska izturība pret koroziju, tie var izturēt ķīmisko vielu un šķīdinātāju eroziju un aizsargāt nesēju no šķidruma un gāzes korozijas.
ar un bez TaC
Pēc TaC lietošanas (pa labi)
Turklāt SemiceraProdukti ar TaC pārklājumuuzrāda ilgāku kalpošanas laiku un lielāku izturību pret augstu temperatūru, salīdzinot arSiC pārklājumi.Laboratorijas mērījumi ir parādījuši, ka mūsuTaC pārklājumivar pastāvīgi darboties temperatūrā līdz 2300 grādiem pēc Celsija ilgāku laiku. Tālāk ir sniegti daži mūsu paraugu piemēri:
