Ar TaC pārklājumu grafīta vadotnes gredzeniattiecas uz plāna slāņa nogulsnēšanostantala karbīdsuz grafīta virzošā gredzena virsmas, lai uzlabotu tā nodilumizturību, izturību pret augstu temperatūru un ķīmisko stabilitāti. Šo pārklājumu parasti veido uz grafīta virzošā gredzena virsmas, izmantojot tādas metodes kā fizikālā tvaiku pārklāšana (PVD) vai ķīmiskā tvaiku pārklāšana (CVD).
Semicera nodrošina specializētus tantala karbīda (TaC) pārklājumus dažādām sastāvdaļām un nesējiem.Semicera vadošais pārklājuma process ļauj tantala karbīda (TaC) pārklājumiem sasniegt augstu tīrību, augstas temperatūras stabilitāti un augstu ķīmisko toleranci, uzlabojot SIC/GAN kristālu un EPI slāņu produktu kvalitāti (TaC susceptors ar grafīta pārklājumu) un pagarinot galveno reaktora sastāvdaļu kalpošanas laiku. Tantala karbīda TaC pārklājuma izmantošana ir paredzēta, lai atrisinātu malu problēmu un uzlabotu kristālu augšanas kvalitāti, un Semicera ir atklājusi tantala karbīda pārklājuma tehnoloģiju (CVD), sasniedzot starptautisku progresīvu līmeni.
Pēc gadiem ilgas attīstības Semicera ir iekarojis tehnoloģijuCVD TaCar kopīgiem pētniecības un attīstības nodaļas pūliņiem. SiC vafeļu augšanas procesā ir viegli rasties defekti, bet pēc lietošanasTaC, atšķirība ir būtiska. Zemāk ir salīdzinājums vafeļiem ar un bez TaC, kā arī Simicera detaļām monokristālu audzēšanai.
Ar TaC pārklājumu grafīta vadošo gredzenu galvenās iezīmes ir:
1. Augstas temperatūras izturība: TaC pārklājumam ir lieliska augstas temperatūras stabilitāte un tas var saglabāt stabilitāti augstas temperatūras vidē.
2. Nodilumizturība: Tantala karbīda plānā slāņa augstā cietība nodrošina vadošo gredzenu labu nodilumizturību un pagarina tā kalpošanas laiku.
3. Ķīmiskā stabilitāte: TaC pārklājumam ir augsta stabilitāte pret ķīmisko koroziju, tāpēc tas ir piemērots lietošanai dažās kodīgās vidēs.
4. Samazināt berzi: TaC pārklājums var efektīvi samazināt berzi starp grafīta vadotnes gredzenu un citām sastāvdaļām un uzlabot mehānisko blīvējumu efektivitāti.
ar un bez TaC
Pēc TaC lietošanas (pa labi)
Turklāt SemiceraProdukti ar TaC pārklājumuuzrāda ilgāku kalpošanas laiku un lielāku izturību pret augstu temperatūru, salīdzinot arSiC pārklājumi.Laboratorijas mērījumi ir parādījuši, ka mūsuTaC pārklājumivar pastāvīgi darboties temperatūrā līdz 2300 grādiem pēc Celsija ilgāku laiku. Tālāk ir sniegti daži mūsu paraugu piemēri:
