Semicera nodrošina specializētus tantala karbīda (TaC) pārklājumus dažādām sastāvdaļām un nesējiem.Semicera vadošais pārklājuma process ļauj tantala karbīda (TaC) pārklājumiem sasniegt augstu tīrību, augstas temperatūras stabilitāti un augstu ķīmisko toleranci, uzlabojot SIC/GAN kristālu un EPI slāņu produktu kvalitāti (TaC susceptors ar grafīta pārklājumu) un pagarinot galveno reaktora sastāvdaļu kalpošanas laiku. Tantala karbīda TaC pārklājuma izmantošana ir paredzēta, lai atrisinātu malu problēmu un uzlabotu kristālu augšanas kvalitāti, un Semicera ir atklājusi tantala karbīda pārklājuma tehnoloģiju (CVD), sasniedzot starptautisku progresīvu līmeni.
Silīcija karbīds (SiC) ir galvenais materiāls trešās paaudzes pusvadītāju ražošanā, taču tā ražīgums ir bijis nozares izaugsmes ierobežojošs faktors. Pēc plašām pārbaudēm Semicera laboratorijās ir konstatēts, ka izsmidzinātajam un saķepinātajam TaC trūkst vajadzīgās tīrības un viendabīguma. Turpretim CVD process nodrošina tīrības līmeni 5 PPM un izcilu viendabīgumu. CVD TaC izmantošana ievērojami uzlabo silīcija karbīda plātņu ražīgumu. Mēs atzinīgi vērtējam diskusijasTrīs segmentu grafīta gredzeni ar TaC pārklājumu vēl vairāk samazināt SiC plātņu izmaksas.
Pēc gadiem ilgas attīstības Semicera ir iekarojis tehnoloģijuCVD TaCar kopīgiem pētniecības un attīstības nodaļas pūliņiem. SiC vafeļu augšanas procesā ir viegli rasties defekti, bet pēc lietošanasTaC, atšķirība ir būtiska. Zemāk ir salīdzinājums vafeļiem ar un bez TaC, kā arī Simicera detaļām monokristālu audzēšanai.
ar un bez TaC
Pēc TaC lietošanas (pa labi)
Turklāt SemiceraProdukti ar TaC pārklājumuuzrāda ilgāku kalpošanas laiku un lielāku izturību pret augstu temperatūru, salīdzinot arSiC pārklājumi.Laboratorijas mērījumi ir parādījuši, ka mūsuTaC pārklājumivar pastāvīgi darboties temperatūrā līdz 2300 grādiem pēc Celsija ilgāku laiku. Tālāk ir sniegti daži mūsu paraugu piemēri:
