Silīcija vafeles termiskā oksīda slānis ir oksīda slānis vai silīcija dioksīda slānis, kas veidojas uz silīcija vafeles tukšās virsmas augstas temperatūras apstākļos ar oksidētāju.Silīcija vafeles termiskā oksīda slānis parasti tiek audzēts horizontālā cauruļu krāsnī, un augšanas temperatūras diapazons parasti ir 900 ° C ~ 1200 ° C, un ir divi augšanas režīmi "slapjā oksidēšana" un "sausā oksidēšana". Termiskā oksīda slānis ir "izaudzis" oksīda slānis, kam ir augstāka viendabība un lielāka dielektriskā izturība nekā CVD uzklātajam oksīda slānim. Termiskā oksīda slānis ir lielisks dielektriskais slānis kā izolators. Daudzās ierīcēs uz silīcija bāzes termiskā oksīda slānim ir svarīga loma kā dopinga bloķējošajam slānim un virsmas dielektriķim.
Padomi: Oksidācijas veids
1. Sausā oksidēšana
Silīcijs reaģē ar skābekli, un oksīda slānis virzās uz bazālo slāni. Sausā oksidēšana jāveic temperatūrā no 850 līdz 1200 ° C, un augšanas ātrums ir zems, ko var izmantot MOS izolācijas vārtu augšanai. Ja nepieciešams augstas kvalitātes, īpaši plāns silīcija oksīda slānis, priekšroka tiek dota sausai oksidēšanai, nevis slapjai oksidēšanai.
Sausās oksidācijas jauda: 15nm ~ 300nm (150A ~ 3000A)
2. Mitrā oksidēšana
Šī metode izmanto ūdeņraža un augstas tīrības pakāpes skābekļa maisījumu, lai sadedzinātu ~ 1000 ° C temperatūrā, tādējādi radot ūdens tvaikus, veidojot oksīda slāni. Lai gan mitrā oksidēšana nevar radīt tik augstas kvalitātes oksidācijas slāni kā sausā oksidēšana, tomēr pietiekami daudz, lai to izmantotu kā izolācijas zonu, salīdzinājumā ar sauso oksidāciju ir skaidra priekšrocība, ka tai ir lielāks augšanas ātrums.
Mitrās oksidācijas jauda: 50 nm ~ 15 µm (500 A ~ 15 µm)
3. Sausā metode - mitrā metode - sausā metode
Šajā metodē tīrs sausais skābeklis tiek atbrīvots oksidācijas krāsnī sākotnējā stadijā, oksidācijas vidū tiek pievienots ūdeņradis, un beigās tiek uzglabāts ūdeņradis, lai turpinātu oksidēšanu ar tīru sausu skābekli, veidojot blīvāku oksidācijas struktūru nekā. parastais mitrās oksidācijas process ūdens tvaika veidā.
4. TEOS oksidēšana
| Oksidācijas tehnika | Mitrā oksidēšana vai sausā oksidēšana |
| Diametrs | 2 collas / 3 collas / 4 collas / 6 collas / 8 collas / 12 collas |
| Oksīda biezums | 100 Å ~ 15 µm |
| Tolerance | +/- 5% |
| Virsma | Vienas puses oksidēšana (SSO) / divpusēja oksidēšana (DSO) |
| Krāsns | Horizontālā cauruļu krāsns |
| Gāze | Ūdeņradis un skābekļa gāze |
| Temperatūra | 900 ℃ ~ 1200 ℃ |
| Refrakcijas indekss | 1.456 |
