Silīcija karbīda substrāti | SiC vafeles

Īss apraksts:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. ir vadošais piegādātājs, kas specializējas vafeļu un modernu pusvadītāju palīgmateriālu ražošanā. Mēs esam apņēmušies nodrošināt augstas kvalitātes, uzticamus un inovatīvus produktus pusvadītāju ražošanā, fotoelementu rūpniecībā un citās saistītās jomās.

Mūsu produktu līnijā ietilpst SiC/TaC pārklāti grafīta izstrādājumi un keramikas izstrādājumi, kas ietver dažādus materiālus, piemēram, silīcija karbīdu, silīcija nitrīdu un alumīnija oksīdu utt.

Pašlaik mēs esam vienīgais ražotājs, kas nodrošina 99,9999% SiC pārklājumu un 99,9% rekristalizētu silīcija karbīdu. Maksimālais SiC pārklājuma garums ir 2640 mm.

Nosūtiet mums e-pastu

Produkta informācija

Produktu etiķetes

Silīcija karbīda (SiC) monokristālu materiālam ir liels joslas spraugas platums (~ Si 3 reizes), augsta siltumvadītspēja (~ Si 3,3 reizes vai GaAs 10 reizes), augsts elektronu piesātinājuma migrācijas ātrums (~ Si 2,5 reizes), augsts elektriskais sadalījums. lauks (~ Si 10 reizes vai GaAs 5 reizes) un citas izcilas īpašības.

SiC ierīcēm ir neaizvietojamas priekšrocības augstas temperatūras, augsta spiediena, augstfrekvences, lieljaudas elektronisko ierīču un ekstremālos vides lietojumos, piemēram, kosmosa, militārajā, kodolenerģijā uc jomā, praktiski kompensējot tradicionālo pusvadītāju materiālu ierīču defektus. lietojumprogrammas un pakāpeniski kļūst par jaudas pusvadītāju galveno virzienu.

4H-SiC Silīcija karbīda substrāta specifikācijas

Prece项目	Specifikācijas参数
Politips 晶型	4H -SiC	6H- SiC
Diametrs 晶圆直径	2 collas \| 3 collas \| 4 collas \| 6 collas	2 collas \| 3 collas \| 4 collas \| 6 collas
Biezums 厚度	330 μm ~ 350 μm	330 μm ~ 350 μm
Vadītspēja 导电类型	N – tips / Pusizolējošs N型导电片/ 半绝缘片	N – tips / Pusizolējošs N型导电片/ 半绝缘片
Dopants 掺杂剂	N2 (slāpeklis)V (vanādijs)	N2 ( slāpeklis ) V ( vanādijs )
Orientēšanās 晶向	Uz ass <0001> Off ass <0001> off 4°	Uz ass <0001> Off ass <0001> off 4°
Pretestība 电阻率	0,015 ~ 0,03 omi-cm (4H-N)	0,02 ~ 0,1 omi-cm (6H-N)
Mikrocaurules blīvums (MPD) 微管密度	≤10/cm2 ~ ≤1/cm2	≤10/cm2 ~ ≤1/cm2
TTV 总厚度变化	≤ 15 μm	≤ 15 μm
Loks / velku 翘曲度	≤25 μm	≤25 μm
Virsma 表面处理	DSP/SSP	DSP/SSP
Novērtējums 产品等级	Ražošanas / pētniecības pakāpe	Ražošanas / pētniecības pakāpe
Kristālu sakraušanas secība 堆积方式	ABCB	ABCABC
Režģa parametrs 晶格参数	a=3,076A, c=10,053A	a=3,073A , c=15,117A
Piemērs/eV (joslas atstarpe) 禁带宽度	3,27 eV	3,02 eV
ε (dielektriskā konstante) 介电常数	9.6	9.66
Refrakcijas indekss 折射率	n0 = 2,719 ne = 2,777	n0 =2,707, ne =2,755

6H-SiC silīcija karbīda substrāta specifikācijas

Prece项目	Specifikācijas参数
Politips 晶型	6H-SiC
Diametrs 晶圆直径	4 collas \| 6 collas
Biezums 厚度	350μm ~ 450μm
Vadītspēja 导电类型	N – tips / Pusizolējošs N型导电片/ 半绝缘片
Dopants 掺杂剂	N2 (slāpeklis) V (vanādijs)
Orientēšanās 晶向	<0001> off 4°± 0,5°
Pretestība 电阻率	0,02 ~ 0,1 omi-cm (6H-N tips)
Mikrocaurules blīvums (MPD) 微管密度	≤ 10/cm2
TTV 总厚度变化	≤ 15 μm
Loks / velku 翘曲度	≤25 μm
Virsma 表面处理	Si Face: CMP, Epi-Ready C Seja: optiskais pulējums
Novērtējums 产品等级	Pētījuma pakāpe