Apraksts
Semicorex vafeļu turētāji ar SiC pārklājumu nodrošina izcilu termisko stabilitāti un vadītspēju, nodrošinot vienmērīgu siltuma sadali CVD procesos, kas ir ļoti svarīgi augstas kvalitātes plānās kārtiņas un pārklājuma īpašībām.
Galvenās funkcijas:
1. Izcila termiskā stabilitāte un vadītspējaMūsu ar SiC pārklātie vafeļu nesēji izceļas ar stabilas un konsekventas temperatūras uzturēšanu, kas ir būtiska CVD procesos. Tas nodrošina vienmērīgu siltuma sadali, nodrošinot izcilu plānās plēves un pārklājuma kvalitāti.
2. Precīzijas ražošanaKatrs vafeļu turētājs ir ražots atbilstoši stingriem standartiem, nodrošinot vienmērīgu biezumu un virsmas gludumu. Šī precizitāte ir ļoti svarīga, lai panāktu konsekventu nogulsnēšanas ātrumu un plēves īpašības vairākās plāksnēs, uzlabojot kopējo ražošanas kvalitāti.
3. Piemaisījumu barjeraSiC pārklājums darbojas kā necaurlaidīga barjera, novēršot piemaisījumu difūziju no susceptora vafelē. Tas samazina piesārņojuma risku, kas ir ļoti svarīgi augstas tīrības pakāpes pusvadītāju ierīču ražošanai.
4. Izturība un izmaksu efektivitāteIzturīgā konstrukcija un SiC pārklājums uzlabo vafeļu nesēju izturību, samazinot suskeptoru nomaiņas biežumu. Tas samazina uzturēšanas izmaksas un samazina dīkstāves laiku, palielinot pusvadītāju ražošanas darbību efektivitāti.
5. Pielāgošanas opcijasSemicorex vafeļu nesējus ar SiC pārklājumu var pielāgot, lai tie atbilstu īpašām procesa prasībām, tostarp izmēra, formas un pārklājuma biezuma izmaiņām. Šī elastība ļauj optimizēt susceptoru, lai tas atbilstu dažādu pusvadītāju ražošanas procesu unikālajām prasībām. Pielāgošanas iespējas ļauj izstrādāt suskeptoru dizainus, kas pielāgoti specializētiem lietojumiem, piemēram, liela apjoma ražošanai vai pētniecībai un attīstībai, nodrošinot optimālu veiktspēju konkrētiem lietošanas gadījumiem.
Lietojumprogrammas:
Semicera vafeļu turētāji ar SiC pārklājumu ir ideāli piemēroti:
• Pusvadītāju materiālu epitaksiālā augšana
• Ķīmiskās tvaiku pārklāšanas (CVD) procesi
• Kvalitatīvu pusvadītāju vafeļu ražošana
• Uzlabotas pusvadītāju ražošanas lietojumprogrammas