Vafeļu nesēja ieviešana
PRODUKTU KATEGORIJA
▶Vafeļu nesēja sistēma PECVD un TALOX procesam
• PECVD & TALOX grafīta laiva (M4~M12)
• Vertikālā SM-laiva (M4, M6)
• Implants un dušas grafīta daļa (M4~M6)
• C/C paplāte un keramikas pārklājums
• Metāla RIE paplāte un keramikas pārklājums
• Vakuuma blīvējums: O-gredzens un SQ-gredzens
▶Tekstūras un mitrās kodināšanas pārvietošanas process
• LSC H-Carrier vai kasete (M4~M12)
• LSC V-Carrier vai kasete (M4~M12)
• ASC nesējs vai kasete (M4, M6)
• W/F Carrier & Storage Box (M4~M12)
• Transportēšanas riteņu (rullīšu) sērija
▶Saules elementu nesējs un metāla nesējs
• TRC nesējs vai kasete (M4~M12)
• Žurnāls (ar JOSTA)
GRAFĪTA LAIVA (H-Type)
19P6-216CT (WF M4~M12)
GRAFĪTA LAIVA (H-Type)
21P6-240CT WF M4~M12)
GRAFĪTA LAIVA (H-Type)
23P7-308CT (W/F M4~M12)
GRAFĪTA LAIVA (H-Type)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
GRAFĪTA LAIVA (H-Type)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF pārvadātājs UN UZGLABĀŠANAS KASTĪTE (~M12)
C/C TRAY vai CARRIER (M4~M10)
C/C TRAY vai CARRIER (M4~M10)
VERTIKĀLĀ LAIVA (SM) M6
LSC-H-CARRIER (~M12)
LSC-V-CARRIER (~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC CARRIER (~M12)
TRC CARRIER (~M12)
GRAFĪTA LAIVA (M12)
Vafeļu nesēja sistēma PECVD procesam
▶ GRAFĪTA LAIVA (CT izstrādāta) M10/M12 process
• ĪPAŠĀ DIZAINA KONCEPCIJA
▶ GRAFĪTA LAIVA (Izstrādāta CT) M4/M6 process
▶ LAIVAS piederumu daļas
▶ VERTIKĀLĀ LAIVA-161,7 mm VAFELE
▶ VERTIKĀLĀ LAIVA-166mm VAFELE
▶ VERTIKĀLĀ LAIVA-161,7 mm, 166 mm VAFELE
Saules elementu nesējs un metāla TRC nesējs
VEIDS: Automatizācija
VAFELES IZMĒRS: ① 156 × 156 MM ② 156,75 × 156,75 MM
③161,7 x 161,7 MM ④166 x 166 MM
⑤ 180 × 180 mm ⑥ 210 × 210 mm
LIETOŠANA: Pārnēsāšana (kasete)
Ietilpība: 100 loksnes
SOLIS: 4,76 mm/5,953 mm/6,35 mm
IZMĒRS: aptuveni 559 × 220 × 220 mm
Apmēram 712 × 260 × 260 mm
PRIEKŠROCĪBA: Atmosfēra
MATERIĀLS: liesma, sānu stieņa - alumīnijs (anodēšana)
SĀNU PLĀKSNE (Antistatiska)
Apakšējā stieņa vāks-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
DUŠAS PLĀKSNE UN IMPLANTS, NEDERĪGS
