Tantala karbīds (TaC)ir tantala un oglekļa binārs savienojums ar ķīmisko formulu TaC x, kur x parasti svārstās no 0,4 līdz 1. Tie ir ārkārtīgi cieti, trausli, ugunsizturīgi keramikas materiāli ar metālisku vadītspēju. Tie ir brūni pelēki pulveri un parasti tiek apstrādāti, saķepinot.
Tantala karbīdsir svarīgs metālkeramikas materiāls. Viens ļoti svarīgs tantala karbīda lietojums ir tantala karbīda pārklājums.
Tantala karbīda pārklājuma produkta īpašības
Augsta kušanas temperatūra: kušanas temperatūratantala karbīdsir tikpat augsta kā3880°C, kas padara to stabilu augstas temperatūras vidē un to nav viegli izkausēt vai noārdīties.
Darba stāvoklis:Parasti normāls tantala karbīda (TaC) darba stāvoklis ir 2200°C. Ņemot vērā tā ārkārtīgi augsto kušanas temperatūru, TaC ir izstrādāts tā, lai izturētu tik augstas temperatūras, nezaudējot savu strukturālo integritāti.
Cietība un nodilumizturība: Tam ir ārkārtīgi augsta cietība (Mosa cietība ir aptuveni 9-10), un tā var efektīvi izturēt nodilumu un skrāpējumus.
Ķīmiskā stabilitāte: Tam ir laba ķīmiskā stabilitāte pret lielāko daļu skābju un sārmu, un tā var izturēt koroziju un ķīmiskās reakcijas.
Siltumvadītspēja: Laba siltumvadītspēja ļauj tai efektīvi izkliedēt un vadīt siltumu, samazinot siltuma uzkrāšanās ietekmi uz materiālu.
Pielietojuma scenāriji un priekšrocības pusvadītāju rūpniecībā
MOCVD aprīkojums: MOCVD (ķīmiskās tvaiku pārklāšanas) iekārtās,tantala karbīda pārklājumitiek izmantoti, lai aizsargātu reakcijas kameru un citas augstas temperatūras sastāvdaļas, samazinātu iekārtas eroziju ar nogulsnēm un pagarinātu iekārtas kalpošanas laiku.
Priekšrocības: Uzlabojiet iekārtas izturību pret augstu temperatūru, samaziniet apkopes biežumu un izmaksas, kā arī uzlabojiet ražošanas efektivitāti.
Vafeļu apstrāde: Izmanto vafeļu apstrādes un pārvades sistēmās, tantala karbīda pārklājumi var uzlabot iekārtas nodilumizturību un izturību pret koroziju.
Priekšrocības: Samaziniet produktu kvalitātes problēmas, ko izraisa nodilums vai korozija, un nodrošina vafeļu apstrādes stabilitāti un konsekvenci.
Pusvadītāju apstrādes instrumenti: Pusvadītāju apstrādes instrumentos, piemēram, jonu implantētājos un kodinātājos, tantala karbīda pārklājumi var uzlabot instrumentu izturību.
Priekšrocības: pagariniet instrumentu kalpošanas laiku, samaziniet dīkstāves un nomaiņas izmaksas un uzlabojiet ražošanas efektivitāti.
Augstas temperatūras zonas: Elektroniskajos komponentos un ierīcēs augstas temperatūras vidēs tiek izmantoti tantala karbīda pārklājumi, lai aizsargātu materiālus no augstām temperatūrām.
Priekšrocības: Nodrošiniet elektronisko komponentu stabilitāti un uzticamību ekstremālos temperatūras apstākļos.
Nākotnes attīstības tendences
Materiālu uzlabošana: Attīstoties materiālzinātnei, formulēšanas un nogulsnēšanas tehnoloģijatantala karbīda pārklājumiturpinās pilnveidoties, lai uzlabotu veiktspēju un samazinātu izmaksas. Piemēram, var izstrādāt izturīgākus un lētākus pārklājuma materiālus.
Uzklāšanas tehnoloģija: būs iespējams izmantot efektīvākas un precīzākas nogulsnēšanas tehnoloģijas, piemēram, uzlabotas PVD un CVD tehnoloģijas, lai optimizētu tantala karbīda pārklājumu kvalitāti un veiktspēju.
Jaunas pielietojuma jomas: pielietojuma jomastantala karbīda pārklājumipaplašināsies uz vairāk augsto tehnoloģiju un rūpniecības jomām, piemēram, kosmosa, enerģētikas un automobiļu rūpniecībā, lai apmierinātu pieprasījumu pēc augstas veiktspējas materiāliem.
Izlikšanas laiks: 08.08.2024