Plazmas kodināšanas iekārtās keramikas komponentiem ir izšķiroša nozīme, tostarpfokusa gredzens.The fokusa gredzens, kas novietota ap plāksni un ir tiešā saskarē ar to, ir būtiska, lai fokusētu plazmu uz plāksni, pieliekot gredzenam spriegumu. Tas uzlabo kodināšanas procesa viendabīgumu.
SiC fokusa gredzenu pielietošana kodināšanas iekārtās
SiC CVD sastāvdaļaskodināšanas iekārtās, piemēramfokusa gredzeni, gāzes dušas uzgaļi, plāksnītes un malu gredzeni, ir priekšroka, jo SiC ir zema reaktivitāte ar kodināšanas gāzēm, kuru pamatā ir hlors un fluors, un tā vadītspēja, padarot to par ideālu materiālu plazmas kodināšanas iekārtām.
SiC kā fokusa gredzena materiāla priekšrocības
Tā kā vakuuma reakcijas kamerā ir tieša iedarbība uz plazmu, fokusa gredzeni ir jāizgatavo no plazmas izturīgiem materiāliem. Tradicionālie fokusa gredzeni, kas izgatavoti no silīcija vai kvarca, cieš no sliktas pretestības pret kodināšanu plazmās, kuru pamatā ir fluors, kas izraisa ātru koroziju un samazina efektivitāti.
Salīdzinājums starp Si un CVD SiC fokusa gredzeniem:
1. Lielāks blīvums:Samazina kodināšanas apjomu.
2. Plašs joslas diapazons: Nodrošina lielisku izolāciju.
3. Augsta siltumvadītspēja un zems izplešanās koeficients: Izturīgs pret termisko šoku.
4. Augsta elastība:Laba izturība pret mehāniskām ietekmēm.
5. Augsta cietība: Izturīgs pret nodilumu un koroziju.
SiC ir līdzīga silīcija elektrovadītspējai, vienlaikus nodrošinot izcilu izturību pret jonu kodināšanu. Attīstoties integrālās shēmas miniaturizācijai, palielinās pieprasījums pēc efektīvākiem kodināšanas procesiem. Plazmas kodināšanas iekārtām, īpaši tām, kurās izmanto kapacitatīvo savienoto plazmu (CCP), ir nepieciešama liela plazmas enerģijaSiC fokusa gredzeniarvien populārāks.
Si un CVD SiC fokusa gredzena parametri:
| Parametrs | Silīcijs (Si) | CVD silīcija karbīds (SiC) |
| Blīvums (g/cm³) | 2.33 | 3.21 |
| Band Gap (eV) | 1.12 | 2.3 |
| Siltumvadītspēja (W/cm°C) | 1.5 | 5 |
| Termiskās izplešanās koeficients (x10⁻⁶/°C) | 2.6 | 4 |
| Elastīgais modulis (GPa) | 150 | 440 |
| Cietība | Nolaist | Augstāks |
SiC fokusa gredzenu ražošanas process
Pusvadītāju iekārtās SiC komponentu ražošanai parasti izmanto CVD (ķīmisko tvaiku pārklāšanu). Fokusa gredzenus ražo, nogulsnējot SiC noteiktās formās ar tvaiku pārklāšanu, kam seko mehāniska apstrāde, lai izveidotu galaproduktu. Tvaika nogulsnēšanas materiālu attiecība tiek noteikta pēc plašiem eksperimentiem, padarot tādus parametrus kā pretestība konsekventi. Tomēr dažādām kodināšanas iekārtām var būt nepieciešami fokusa gredzeni ar atšķirīgu pretestību, tāpēc katrai specifikācijai ir nepieciešami jauni materiālu attiecību eksperimenti, kas ir laikietilpīgi un dārgi.
IzvēlotiesSiC fokusa gredzeninoSemicera pusvadītājs, klienti var sasniegt priekšrocības, ko sniedz ilgāki nomaiņas cikli un izcila veiktspēja, būtiski nepalielinot izmaksas.
Ātrās termiskās apstrādes (RTP) komponenti
CVD SiC izcilās termiskās īpašības padara to ideāli piemērotu RTP lietojumiem. RTP komponenti, tostarp malu gredzeni un plāksnes, gūst labumu no CVD SiC. RTP laikā atsevišķām plāksnēm īslaicīgi tiek pielietoti intensīvi siltuma impulsi, kam seko ātra dzesēšana. CVD SiC malu gredzeni, būdami plāni un ar zemu termisko masu, neuztur ievērojamu siltumu, tāpēc tos neietekmē strauji sildīšanas un dzesēšanas procesi.
Plazmas kodināšanas sastāvdaļas
CVD SiC augstā ķīmiskā izturība padara to piemērotu kodināšanai. Daudzās kodināšanas kamerās kodināšanas gāzu sadalei tiek izmantotas CVD SiC gāzes sadales plāksnes, kurās ir tūkstošiem sīku caurumu plazmas izkliedēšanai. Salīdzinot ar alternatīviem materiāliem, CVD SiC ir mazāka reaktivitāte ar hlora un fluora gāzēm. Sausajā kodināšanā parasti tiek izmantoti CVD SiC komponenti, piemēram, fokusa gredzeni, ICP plāksnes, robežgredzeni un dušas galviņas.
SiC fokusa gredzeniem ar to pielietoto spriegumu plazmas fokusēšanai jābūt ar pietiekamu vadītspēju. Fokusa gredzeni, kas parasti ir izgatavoti no silīcija, tiek pakļauti reaktīvām gāzēm, kas satur fluoru un hloru, izraisot neizbēgamu koroziju. SiC fokusa gredzeni ar savu izcilo izturību pret koroziju nodrošina ilgāku kalpošanas laiku, salīdzinot ar silīcija gredzeniem.
Dzīves cikla salīdzinājums:
· SiC fokusa gredzeni:Mainīts ik pēc 15 līdz 20 dienām.
· Silikona fokusa gredzeni:Mainīts ik pēc 10 līdz 12 dienām.
Neskatoties uz to, ka SiC gredzeni ir 2 līdz 3 reizes dārgāki nekā silīcija gredzeni, pagarinātais nomaiņas cikls samazina kopējās detaļu nomaiņas izmaksas, jo visas kamerā esošās dilstošās daļas tiek nomainītas vienlaikus, kad kamera tiek atvērta fokusa gredzena nomaiņai.
Semicera Semiconductor SiC fokusa gredzeni
Semicera Semiconductor piedāvā SiC fokusa gredzenus par cenām, kas ir tuvas silīcija gredzenu cenām, un izpildes laiks ir aptuveni 30 dienas. Integrējot Semicera SiC fokusa gredzenus plazmas kodināšanas iekārtās, tiek ievērojami uzlabota efektivitāte un ilgmūžība, samazinot kopējās uzturēšanas izmaksas un uzlabojot ražošanas efektivitāti. Turklāt Semicera var pielāgot fokusa gredzenu pretestību, lai atbilstu īpašām klientu prasībām.
Izvēloties SiC fokusa gredzenus no Semicera Semiconductor, klienti var sasniegt priekšrocības, ko sniedz ilgāki nomaiņas cikli un izcila veiktspēja bez ievērojama izmaksu pieauguma.
Izlikšanas laiks: 10. jūlijs 2024