Visām plānām plēvēm, ko izmanto pusvadītāju ražošanā, ir pretestība, un plēves pretestībai ir tieša ietekme uz ierīces veiktspēju. Mēs parasti nemērām plēves absolūto pretestību, bet izmantojam loksnes pretestību, lai to raksturotu.
Kas ir lokšņu pretestība un tilpuma pretestība?
Tilpuma pretestība, kas pazīstama arī kā tilpuma pretestība, ir materiāla īpašība, kas raksturo to, cik ļoti materiāls kavē elektriskās strāvas plūsmu. Parasti lietotais simbols ρ apzīmē, mērvienība ir Ω.
Loksnes pretestība, kas pazīstama arī kā lokšņu pretestība, angļu nosaukums ir lokšņu pretestība, kas attiecas uz plēves pretestības vērtību uz laukuma vienību. Bieži lietotie simboli Rs vai ρs, lai izteiktu, mērvienība ir Ω/sq vai Ω/□
Attiecība starp abiem ir šāda: loksnes pretestība = tilpuma pretestība / plēves biezums, tas ir, Rs = ρ / t
Kāpēc izmērīt loksnes pretestību?
Plēves absolūtās pretestības mērīšanai ir nepieciešamas precīzas zināšanas par plēves ģeometriskajiem izmēriem (garumu, platumu, biezumu), kam ir daudz mainīgo un ir ļoti sarežģīti ļoti plānām vai neregulāras formas plēvēm. Loksnes pretestība ir saistīta tikai ar plēves biezumu, un to var ātri un tieši pārbaudīt bez sarežģītiem izmēra aprēķiniem.
Kurām plēvēm jāmēra loksnes pretestība?
Parasti vadošām plēvēm un pusvadītāju plēvēm ir jāmēra kvadrātveida pretestība, savukārt izolācijas plēvēm nav jāmēra.
Pusvadītāju dopingā mēra arī silīcija lokšņu pretestību.
Kā izmērīt kvadrātveida pretestību?
Rūpniecībā parasti izmanto četru zondu metodi. Četru zondes metode var izmērīt kvadrātveida pretestību robežās no 1E-3 līdz 1E+9Ω/kv. Četru zondu metode var izvairīties no mērījumu kļūdām, ko rada kontakta pretestība starp zondi un paraugu.
Mērīšanas metodes:
1) Uzstādiet četras lineāri sakārtotas zondes uz parauga virsmas.
2) Pielietojiet pastāvīgu strāvu starp divām ārējām zondēm.
3) Nosakiet pretestību, izmērot potenciālu starpību starp abām iekšējām zondēm
RS: loksnes pretestība
ΔV: sprieguma izmaiņas, kas izmērītas starp iekšējām zondēm
I: Strāva tiek pievadīta starp ārējām zondēm
Izlikšanas laiks: 29.03.2024