Apraksts
MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth by semicera, vadošais risinājums, kas izstrādāts, lai optimizētu epitaksiālās augšanas procesu uzlabotiem pusvadītāju lietojumiem. Semicera MOCVD Susceptor nodrošina precīzu temperatūras kontroli un materiāla nogulsnēšanos, padarot to par ideālu izvēli augstas kvalitātes Si Epitaxy un SiC epitaksijas iegūšanai. Tā izturīgā konstrukcija un augstā siltumvadītspēja nodrošina nemainīgu veiktspēju prasīgās vidēs, nodrošinot epitaksiskām augšanas sistēmām nepieciešamo uzticamību.
Šis MOCVD susceptors ir savietojams ar dažādiem epitaksiāliem lietojumiem, tostarp monokristāliskā silīcija ražošanu un GaN palielināšanu SiC Epitaxy, padarot to par būtisku sastāvdaļu ražotājiem, kuri vēlas sasniegt augstākā līmeņa rezultātus. Turklāt tas nemanāmi darbojas ar PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier un RTP Carrier sistēmām, uzlabojot procesa efektivitāti un ienesīgumu. Susceptors ir piemērots arī LED Epitaxial Susceptor lietojumiem un citiem uzlabotiem pusvadītāju ražošanas procesiem.
Pateicoties tā daudzpusīgajam dizainam, semicera MOCVD susceptors var tikt pielāgots izmantošanai Pancake Susceptors un Barrel Susceptors, piedāvājot elastību dažādos ražošanas uzstādījumos. Fotoelementu daļu integrācija vēl vairāk paplašina tās pielietojumu, padarot to ideāli piemērotu gan pusvadītāju, gan saules enerģijas nozarēm. Šis augstas veiktspējas risinājums nodrošina izcilu termisko stabilitāti un izturību, nodrošinot ilgstošu efektivitāti epitaksiālās augšanas procesos.
Galvenās iezīmes
1. Augstas tīrības pakāpes SiC pārklāts grafīts
2. Superior siltuma pretestība un termiskā viendabīgums
3. Ar smalku SiC kristāla pārklājumu gludai virsmai
4. Augsta izturība pret ķīmisko tīrīšanu
Galvenās CVD-SIC pārklājumu specifikācijas:
| SiC-CVD | ||
| Blīvums | (g/cc) | 3.21 |
| Liekšanas spēks | (Mpa) | 470 |
| Termiskā izplešanās | (10-6/K) | 4 |
| Siltumvadītspēja | (W/mK) | 300 |
Iepakošana un nosūtīšana
Piegādes spēja:
10000 gab./gab. mēnesī
Iepakojums un piegāde:
Iepakojums: standarta un spēcīgs iepakojums
Polijas soma + kaste + kartona kārba + palete
Ports:
Ningbo/Šenžeņa/Šanhaja
Izpildes laiks:
| Daudzums (gab.) | 1–1000 | >1000 |
| Apt. Laiks (dienas) | 30 | Jāsarunā |
