Izostatiska PECVD grafīta laiva

Izostatisks PECVD grafīta laivas piedāvātais attēls

Īss apraksts:

Izostatiskā PECVD grafīta laiva tiek plaši izmantota dažādās pusvadītāju ražošanas saitēs, piemēram, polisilīcija plēves uzklāšanā, oksīda plēves uzklāšanā, nitrīda plēves uzklāšanā utt. Tā lieliskā veiktspēja padara to par ideālu vafeļu nesēju PECVD procesā.

Nosūtiet mums e-pastu

Produkta informācija

Produktu etiķetes

SEMICERA izostatiskā PECVD grafīta laiva ir augstas tīrības pakāpes, augsta blīvuma grafīta izstrādājums, kas paredzēts vafeļu atbalstam PECVD (plazmas pastiprinātas ķīmiskās tvaiku nogulsnēšanās) procesā. SEMICERA izmanto progresīvu izostatiskās presēšanas tehnoloģiju, lai nodrošinātu, ka grafīta laivai ir lieliska augstas temperatūras izturība, izturība pret koroziju, izmēru stabilitāte un laba siltumvadītspēja, kas ir neaizstājams palīgmateriāls pusvadītāju ražošanas procesā.

SEMICERA izostatiskajai PECVD grafīta laivai ir šādas priekšrocības:

▪ Augsta tīrība: grafīta materiālam ir augsta tīrības pakāpe un zems piemaisījumu saturs, lai izvairītos no vafeļu virsmas piesārņošanas.

▪ Augsts blīvums: augsts blīvums, augsta mehāniskā izturība, var izturēt augstu temperatūru un augstu vakuuma vidi.

▪ Laba izmēru stabilitāte: nelielas izmēru izmaiņas augstā temperatūrā, lai nodrošinātu procesa stabilitāti.

▪ Lieliska siltumvadītspēja: efektīvi pārnes siltumu, lai novērstu plāksnīšu pārkaršanu.

▪ Spēcīga izturība pret koroziju: spēj izturēt dažādu korozīvu gāzu un plazmas eroziju.

Veiktspējas parametrs	semicera	SGL R6510	Veiktspējas parametrs
Tilpuma blīvums (g/cm3)	1.91	1.83	1.85
Liekšanas izturība (MPa)	63	60	49
Spiedes izturība (MPa)	135	130	103
Šora cietība (HS)	70	64	60
Termiskās izplešanās koeficients (10-6/K)	85	105	130
Termiskās izplešanās koeficients (10-6/K)	5.85	4.2	5.0
Pretestība (μΩm)	11-13	13	10

Priekšrocības, izvēloties mūs:
▪ Materiālu izvēle: Produkta kvalitātes nodrošināšanai tiek izmantoti augstas tīrības grafīta materiāli.
▪ Apstrādes tehnoloģija: lai nodrošinātu produkta blīvumu un viendabīgumu, tiek izmantota izostatiskā presēšana.
▪ Izmēru pielāgošana: dažādu izmēru un formu grafīta laivas var pielāgot atbilstoši klientu vajadzībām.
▪ Virsmas apstrāde: tiek nodrošinātas dažādas virsmas apstrādes metodes, piemēram, pārklāšana ar silīcija karbīdu, bora nitrīdu utt., lai atbilstu dažādām procesa prasībām.