Semicera piedāvā augstas kvalitātes pasūtījumussilīcija karbīda konsoles lāpstiņasizstrādāts, lai uzlabotu pusvadītāju ražošanas procesus. InovatīvaisSiC lāpstiņadizains nodrošina izcilu izturību un augstu termisko pretestību, padarot to par būtisku sastāvdaļu vafeļu apstrādei sarežģītās augstas temperatūras vidēs.
TheSilīcija karbīda lāpstiņair veidots tā, lai izturētu ekstremālus termiskos ciklus, vienlaikus saglabājot struktūras integritāti, nodrošinot drošu plāksnīšu transportēšanu pusvadītāju ražošanas kritiskajās fāzēs. Ar izcilu mehānisko izturību šisvafeļu laivasamazina vafeļu bojājumu risku, tādējādi nodrošinot lielāku ražu un nemainīgu ražošanas kvalitāti.
Viens no galvenajiem Semicera SiC lāpstiņu jauninājumiem ir tā pielāgotās dizaina iespējas. Pielāgots specifiskām ražošanas vajadzībām, lāpstiņa piedāvā elastību integrācijā ar dažādiem aprīkojuma iestatījumiem, padarot to par ideālu risinājumu mūsdienu ražošanas procesiem. Vieglā, bet izturīgā konstrukcija nodrošina vieglu apstrādi un samazina darbības dīkstāves laiku, tādējādi uzlabojot pusvadītāju ražošanas efektivitāti.
Papildus tā termiskajām un mehāniskajām īpašībām,Silīcija karbīda lāpstiņapiedāvā izcilu ķīmisko izturību, ļaujot tai uzticami darboties pat skarbā ķīmiskā vidē. Tas padara to īpaši piemērotu izmantošanai procesos, kas saistīti ar kodināšanu, uzklāšanu un apstrādi augstā temperatūrā, kur vafeļu laivas integritātes saglabāšana ir ļoti svarīga augstas kvalitātes rezultātu nodrošināšanai.
Pārkristalizēta silīcija karbīda fizikālās īpašības | |
Īpašums | Tipiskā vērtība |
Darba temperatūra (°C) | 1600°C (ar skābekli), 1700°C (reducējošā vide) |
SiC saturs | > 99,96% |
Bezmaksas Si saturs | < 0,1% |
Tilpuma blīvums | 2,60-2,70 g/cm3 |
Šķietamā porainība | < 16% |
Saspiešanas spēks | > 600 MPa |
Aukstās lieces izturība | 80-90 MPa (20°C) |
Karstās lieces izturība | 90–100 MPa (1400 °C) |
Termiskā izplešanās @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Siltumvadītspēja @1200°C | 23 W/m•K |
Elastības modulis | 240 GPa |
Termiskā triecienizturība | Ārkārtīgi labi |