Semicera nodrošina specializētus tantala karbīda (TaC) pārklājumus dažādām sastāvdaļām un nesējiem.Semicera vadošais pārklājuma process ļauj tantala karbīda (TaC) pārklājumiem sasniegt augstu tīrību, augstas temperatūras stabilitāti un augstu ķīmisko toleranci, uzlabojot SIC/GAN kristālu un EPI slāņu produktu kvalitāti (TaC susceptors ar grafīta pārklājumu) un pagarinot galveno reaktora sastāvdaļu kalpošanas laiku. Tantala karbīda TaC pārklājuma izmantošana ir paredzēta, lai atrisinātu malu problēmu un uzlabotu kristālu augšanas kvalitāti, un Semicera ir atklājusi tantala karbīda pārklājuma tehnoloģiju (CVD), sasniedzot starptautisku progresīvu līmeni.
Gredzeni ar augstas tīrības pakāpes tantala oglekļa pārklājumu tiek plaši izmantoti īpašās iekārtās un sistēmās kosmosa, ķīmijas, pusvadītāju ražošanas un citās jomās. Tos parasti izmanto blīvēšanai un pārraidei augstā temperatūrā un korozīvā vidē, nodrošinot uzticamu veiktspēju un ilgu kalpošanas laiku, nodrošinot stabilu iekārtu darbību un produktu kvalitāti.
Augstas tīrības pakāpes tantala oglekļa pārklājuma gredzenu īpašības ir šādas:
1. Augstas temperatūras stabilitāte: augstas tīrības tantala oglekļa pārklājuma gredzeni var saglabāt struktūras stabilitāti augstas temperatūras vidē un tiem ir lieliska augstas temperatūras izturība, kas ir piemērota lietojumiem, kuriem ir jāiztur augstas temperatūras apstākļi.
2. Izturība pret koroziju: pašam tantala materiālam ir laba izturība pret koroziju, un uz virsmas izveidotais tantala karbīda pārklājums vēl vairāk uzlabo tā izturību pret koroziju un var izturēt dažādu ķīmisko vielu un šķīdinātāju eroziju.
3. Nodilumizturība: Tantala karbīda pārklājumam ir augsta cietība un nodilumizturība, tas var uzturēt labu veiktspēju berzes un nodiluma vidē un pagarināt kalpošanas laiku.
4. Lieliska blīvējuma veiktspēja: augstas tīrības tantala oglekļa pārklājuma gredzeniem ir laba blīvējuma veiktspēja, tie var efektīvi novērst gāzes vai šķidruma noplūdi un ir piemēroti pielietojuma scenārijiem ar augstām blīvējuma prasībām.
ar un bez TaC
Pēc TaC lietošanas (pa labi)
Turklāt SemiceraProdukti ar TaC pārklājumuuzrāda ilgāku kalpošanas laiku un lielāku izturību pret augstu temperatūru, salīdzinot arSiC pārklājumi.Laboratorijas mērījumi ir parādījuši, ka mūsuTaC pārklājumivar pastāvīgi darboties temperatūrā līdz 2300 grādiem pēc Celsija ilgāku laiku. Tālāk ir sniegti daži mūsu paraugu piemēri:
