RTPCVD SiC gredzenitiek plaši izmantoti rūpniecības un zinātnes jomās augstā temperatūrā un korozīvā vidē. Tam ir svarīga loma pusvadītāju ražošanā, optoelektronikā, precīzās iekārtās un ķīmiskajā rūpniecībā. Īpaši lietojumi ietver:
1. Pusvadītāju ražošana:RTP CVD SiC gredzenivar izmantot pusvadītāju iekārtu sildīšanai un dzesēšanai, nodrošinot stabilu temperatūras kontroli un nodrošinot procesa precizitāti un konsekvenci.
2. Optoelektronika: pateicoties lieliskajai siltumvadītspējai un augstas temperatūras izturībai, RTPCVD SiC gredzenivar izmantot kā atbalsta un siltuma izkliedes materiālus lāzeriem, optisko šķiedru sakaru iekārtām un optiskajiem komponentiem.
3. Precīzijas iekārtas: RTP CVD SiC gredzenus var izmantot precīziem instrumentiem un iekārtām augstā temperatūrā un korozīvā vidē, piemēram, augstas temperatūras krāsnīs, vakuuma ierīcēs un ķīmiskos reaktoros.
4. Ķīmiskā rūpniecība: pateicoties tās izturībai pret koroziju un ķīmiskajai stabilitātei, RTP CVD SiC gredzenus var izmantot konteineros, caurulēs un reaktoros ķīmiskās reakcijās un katalītiskajos procesos.
Epi sistēma
RTP sistēma
CVD sistēma
Produkta veiktspēja:
1. Iepazīstieties ar procesu zem 28 nm
2. Super izturība pret koroziju
3. Super tīrs sniegums
4. Super cietība
5. Augsts blīvums
6. Augstas temperatūras izturība
7. Nodilumizturība
Produkta pielietojums:
Silīcija karbīda materiāliem ir augsta cietība, nodilumizturība, izturība pret koroziju un augstas temperatūras stabilitāte. Produkti ar izcilu visaptverošu veiktspēju tiek plaši izmantoti sausās kodināšanas un TF / difūzijas procesos.
Produkta veiktspēja:
1. Iepazīstieties ar procesu zem 28 nm
2. Super izturība pret koroziju
3. Super tīrs sniegums
4. Super cietība
5. Augsts blīvums
6. Augstas temperatūras izturība
7. Nodilumizturība
Saliktā procesa izstrāde:
Grafīts + Sic pārklājums
Solide CvD sic
Saķepināts SiC+CVD
SicSintered SiC
Vairāku produktu veidu izstrāde:
Gredzens
Tabula
Susceptors
Dušas galva
