6 collu N-tipa SiC substrāts

Īss apraksts:

Semicera piedāvā plašu 4H-8H SiC vafeļu klāstu. Daudzus gadus esam bijuši pusvadītāju un fotoelementu rūpniecības produktu ražotāji un piegādātāji. Mūsu galvenie produkti ir: silīcija karbīda kodināšanas plāksnes, silīcija karbīda laivu piekabes, silīcija karbīda vafeļu laivas (PV & Semiconductor), silīcija karbīda krāsns caurules, silīcija karbīda konsoles lāpstiņas, silīcija karbīda patronas, silīcija karbīda sijas, kā arī CVD pārklājuma sijas un SiC TaC pārklājumi. Aptver lielāko daļu Eiropas un Amerikas tirgu. Mēs ceram kļūt par jūsu ilgtermiņa partneri Ķīnā.

 

Produkta informācija

Produktu etiķetes

Silīcija karbīda (SiC) monokristālu materiālam ir liels joslas spraugas platums (~ Si 3 reizes), augsta siltumvadītspēja (~ Si 3,3 reizes vai GaAs 10 reizes), augsts elektronu piesātinājuma migrācijas ātrums (~ Si 2,5 reizes), augsts elektriskais sadalījums. lauks (~ Si 10 reizes vai GaAs 5 reizes) un citas izcilas īpašības.

Trešās paaudzes pusvadītāju materiāli galvenokārt ietver SiC, GaN, dimantu utt., jo tā joslas spraugas platums (Eg) ir lielāks vai vienāds ar 2,3 elektronvoltiem (eV), ko sauc arī par platjoslas spraugas pusvadītāju materiāliem. Salīdzinot ar pirmās un otrās paaudzes pusvadītāju materiāliem, trešās paaudzes pusvadītāju materiāliem ir augsta siltumvadītspēja, augsts sabrukšanas elektriskais lauks, augsts piesātināto elektronu migrācijas ātrums un augsta savienojuma enerģija, kas var atbilst jaunajām mūsdienu elektronisko tehnoloģiju prasībām. temperatūra, liela jauda, ​​augsts spiediens, augstas frekvences un starojuma izturība un citi skarbi apstākļi. Tam ir nozīmīgas pielietojuma perspektīvas valsts aizsardzības, aviācijas, kosmosa, naftas izpētes, optiskās uzglabāšanas uc jomās, un tas var samazināt enerģijas zudumus par vairāk nekā 50% daudzās stratēģiskās nozarēs, piemēram, platjoslas sakaros, saules enerģijā, automobiļu ražošanā, pusvadītāju apgaismojums un viedais tīkls, un tas var samazināt iekārtu apjomu par vairāk nekā 75%, kas ir pavērsiena nozīme cilvēka zinātnes un tehnoloģiju attīstībā.

Semicera enerģija var nodrošināt klientus ar augstas kvalitātes vadošu (vadošu), daļēji izolējošu (pusizolējošu), HPSI (augstas tīrības pusizolācijas) silīcija karbīda substrātu; Turklāt mēs varam nodrošināt klientiem viendabīgas un neviendabīgas silīcija karbīda epitaksiālās loksnes; Mēs varam arī pielāgot epitaksiālo lapu atbilstoši klientu īpašajām vajadzībām, un nav minimālā pasūtījuma daudzuma.

Preces

Ražošana

Pētījumi

Manekens

Kristāla parametri

Politips

4H

Virsmas orientācijas kļūda

<11-20 >4±0,15°

Elektriskie parametri

Dopants

n-tipa slāpeklis

Pretestība

0,015-0,025 omi · cm

Mehāniskie parametri

Diametrs

150,0±0,2 mm

Biezums

350±25 μm

Primārā plakana orientācija

[1-100]±5°

Primārais plakanais garums

47,5±1,5 mm

Sekundārais dzīvoklis

Nav

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤ 3 μm (5 mm * 5 mm)

≤ 5 μm (5 mm * 5 mm)

≤10 μm (5 mm * 5 mm)

Priekšgala

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Velku

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Priekšpuses (Si-face) raupjums (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Struktūra

Mikrocaurules blīvums

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Metālu piemaisījumi

≤5E10atomi/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Priekšējā kvalitāte

Priekšpuse

Si

Virsmas apdare

Si-face CMP

Daļiņas

≤60ea/vafele (izmērs≥0,3μm)

NA

Skrāpējumi

≤5ea/mm. Kumulatīvais garums ≤ Diametrs

Kumulatīvais garums≤2*Diametrs

NA

Apelsīna miza/kadri/traipi/svītras/plaisas/piesārņojums

Nav

NA

Malu šķembas/ievilkumi/lūzumi/sešstūrveida plāksnes

Nav

Politipa apgabali

Nav

kumulatīvā platība≤20%

kumulatīvā platība≤30%

Priekšējā lāzera marķēšana

Nav

Muguras kvalitāte

Aizmugures apdare

C-face CMP

Skrāpējumi

≤5ea/mm, kumulatīvais garums≤2*diametrs

NA

Muguras defekti (malu šķembas/ievilkumi)

Nav

Muguras raupjums

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Muguras lāzera marķēšana

1 mm (no augšējās malas)

Mala

Mala

Chamfer

Iepakojums

Iepakojums

Epi-ready ar vakuuma iepakojumu

Vairāku vafeļu kasešu iepakojums

*Piezīmes: "NA" nozīmē, ka nav pieprasījuma Vienumi, kas nav minēti, var attiekties uz SEMI-STD.

tech_1_2_size
SiC vafeles

Semicera Darba vieta Semicera darba vieta 2 Iekārtas mašīna CNN apstrāde, ķīmiskā tīrīšana, CVD pārklājums Mūsu pakalpojums


  • Iepriekšējais:
  • Nākamais: